Advanced Radiation Corporation HSA-3500 30436 Mercury Short Arc Lamp
Lampe au mercure à arc court
Kurzbogen-Quecksilberdampflampe
Advanced Radiation Corporation, Santa Clara, California (USA).
Use: microlithography (production of electronic semiconductors)
Utilisation : microlithographie (processus d'exposition des circuits intégrés)
Verwendung: Mikrolithographie (Herstellung von gedruckten Schaltungen)
Fiche technique • Data sheet • Datenblatt:
ARC_HSA.pdf
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Longueur • Length • Länge : 32 cm • 12" 5/8
Diamètre • Diameter • Durchmesser : 70 mm • 2" 3/4
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